蔡司三次元测量机以其高精度和可靠性而闻名，具体精度取决于其型号和配置。例如：
1.Contura型号：其精度最高可达1.5μm，这是指其在特定条件下的定位精度。具体的测量精度还会受到被测物体长度等因素的影响，通常表示为“精度误差+L/某个系数”。
2.XENOS型号：作为蔡司的科研级超高精度三坐标测量机，其精度可以达到0.3微米，适用于对测量精度要求极高的领域，如科研机构、航空和航天工业以及光学工业。
2.5次元影像测量仪则结合了影像测量和接触式测量的优点，具有高精度和广泛的适用性。其精度通常受到硬件配置和软件算法的共同影响，以下是一些常见的精度指标：
1.定位精度：微米级的2.5次元影像测量仪定位精度可以达到0.001mm。
2.测量精度：X/Y轴的测量精度通常表示为“精度≤某个值+L/某个系数”，例如“≤3μm+L/200”，其中“L”指被测物体长度，单位mm。Z轴的测量精度可能会稍低一些，例如“≤4μm+L/50”。
3.重复精度：通常也表示为微米级，例如≤3μm，这反映了测量仪在多次测量同一物体时的一致性。
总结
蔡司三次元测量机和2.5次元影像测量仪在精度方面都具有较高的水平，但具体精度取决于各自的型号、配置以及测量条件。在选择测量仪器时，需要根据具体的测量需求、预算以及对精度的要求来综合考虑。