有人曾经说过："如果我想得到准确的尺寸，我就把被测样品交给SEM操作员。蔡司代理三本精密仪器小编介绍，蔡司SEM扫描电镜是一种高精密测量仪器，人们常常想当然地认为它是正确的，所产生的任何测量值也是正确的。在过去的几年里，SEM的测量精度有了极大的提高，CD-SEM也已经成为半导体加工生产线上监控制造过程的主要工具之一。但是，事实还是会被掩盖，我们必须小心谨慎。
间距测量
如果我们将两条线分开一定的距离，那么测量第一条线的前缘到第二条线的前缘的距离就定义了间距或位移。间距测量中的一些系统误差(由于振动、电子束相互作用效应等)在两个前缘上都是相同的;这些误差，包括试样与电子束相互作用的影响，被认为是可以忽略的(Jensen，1980;Postek，1994)。因此，与边缘相关的误差有相当大的一部分不在用于计算间距的等式中。成功测量的主要标准是测量的两条边缘必须在所有方面都相似。
平均多条线可以最大程度地减少校准样本中边缘效应造成的影响。使用精确的间距标准可以轻松完成SEM放大校准。RM8820有许多间距结构可用于此过程;可根据要求提供计算间距的软件程序(Postek，2010 )。
宽度测量
任何纳米结构、纳米粒子或半导体线路的宽度测量都很复杂，因为上述的许多系统误差现在都是相加的。因此，在测量中还包括来自两个边缘的边缘检测误差。SEM的放大倍率不应校准为宽度测量值。宽度测量会将这些误差加在一起，导致测量不确定性增加。
此外，由于电子束-样品的相互作用效应不同，这些误差也因样品而异。使测量更加复杂的是，每台SEM都会因操作条件和电子收集特性而产生其特有的仪器效应。实际上，通过这种测量方法，我们并不知道图像中边缘的准确位置，更重要的是，不知道它是如何随仪器条件而变化的。