蔡司sem扫描电镜是一种高精度高分辨率的台式设备,在很多领域都被应用到,从样品的表面形貌可以获得多种数据,并通过信号处理方法,可以获得各种图像、特殊的显示方法,高分辨率的台式扫描电镜不仅可以观察表面形貌,而且可以分析元件和成分,并通过电子通道模式进行结晶学分析。选定的面积可以是10米至3米。
那么三本精密仪器的蔡司sem扫描电镜具体都在哪些领域被应用到呢?今天泽攸科技小编就来为您详细介绍一下,希望能够帮助您更好的理解sem扫描电镜,详情如下
① 利用样品电流,根据平均原子数的对比,产生的化学成分相的分布图像与背面散射电子图像的暗与暗图像相反。
②利用俄歇电子定性分析了化学元素在1nm 表面的分布,
③半导体器件研究的特殊应用:
④用二次电子电势对比图反映样品表面的电势,可以看出样品表面电势的大小和分布,特别是用来判断器件的隐藏开路或隐藏短路。
⑤在晶体结构物相识别的基础上,利用背散射电子衍射信号进行了晶体结构(晶体中原子的排列),并对晶体取向分布进行了分析。