蔡司三坐标测量机要人们做好日常的养护工作，那样使用的时候才可以测量的更准确，使用的更长久，因此在维护过程中应注意以下几个方面：
　　1、空气压力和质量
　　蔡司三坐标测量机一般是应用气浮轴承，工作中的小气压应是0.45兆帕斯卡。在工作上应保持气压在0.5-0.8兆帕斯卡相互之间，才可以确保蔡司三坐标测量机的优质工作中。虽然有的时候气压在0.45兆帕斯卡设备也可以运作，但应考虑到X、Y、Z在运作流程之中气压会出现损害，那样气浮块的间距小，若是气浮块中有灰尘或细小微粒，会使导轨刮伤，比较严重时干扰测量精度或制作成三轴运作卡死。
　　2、导轨的清洗和光栅的养护
　　导轨保持干净，要应用浸湿过干净航空汽油或无水乙醇的脱脂棉或丝绸布来清洗;在装、卸零部件时要特别留意，避免 磕磕碰碰导轨。

   　光栅尺的养护直观干扰读值的精密度，Z轴光栅尺外露在外界环境中，而X和Y向光栅尺被外护盖。因此要格外留意Z轴光栅尺，避免 划痕。应用浸过干净航空汽油丝绸布来清洗，让光栅尺干燥。
　　3、过滤器的清洗
　　要按时清洗过滤器，当看到过滤器的滤芯出现变色，就得清洗。取下塑料杯子、滤网，用中性洗涤剂（大家用四氯化碳水溶液）清洗，再应用干净的气体烘干。从头开始安上后，测量工作的压力，有必要就调整它。
　　4、电控系统的保持
　　电控系统是蔡司三坐标测量机的关键一部分，应当算是相对比较稳定的，但不允许被忽略对它的检测和保持。长期应用，某些接口、插片有可能松动。有一次大家看到，在开机之后，坐标轴“Home”时犯错误警报，清查看到原来是接口松动制作成的。