蔡司三坐标测量机在维护养护流程之中感觉以下几个方面情况理应引起特别注意，这也是大家在应用蔡司三坐标测量机的流程之中的许多经验和教导。
　　1、空气压力和质量
　　蔡司三坐标测量机一般是应用气浮轴承，运作的小气压应是0.45兆帕斯卡。在工作上应维护气压在0.5-0.8兆帕斯卡相互之间，才可以确保它的良好运作。即使有时气压在0.45兆帕斯卡设备也可以运作，但应在意到X、Y、Z在运作流程之中气压会出现损害，那样气浮块的间距小，若是气浮块中有粉尘或细微微粒，会使导轨刮伤，比较严重时干扰测量精度或生产制造成三轴运作卡死。
　　2、导轨的清洗和光栅的养护
　　导轨维护干净，要求应用泡浸过干净航空汽油或工业乙醇的脱脂棉或丝绸布来清洗;在装、卸零部件时要特别留意，避免碰撞导轨。

　　光栅尺的养护直观干扰读值的精确度，Z轴光栅尺外露在外界环境中，而X和Y向光栅尺被外护盖。因此要格外特别注意Z轴光栅尺，避免划痕。应用泡过干净航空汽油丝绸布来清洗，让光栅尺干燥。
　　3、过滤器的清洗
　　要按时清洗过滤器，当察觉过滤器的滤芯出现变色，就得清洗。取下塑料杯、过滤网，用中性清洁剂（大家用四氯化碳溶液）清洗，再应用干净的气体吹干。从头开始安上后，精确测量工作压力，有必要就调整它。
　　4、电控系统的维护
　　电控系统是蔡司三坐标测量机的关键部位，应当算是较为稳定的，但不允许被忽略对它的检测和维护。长期应用，许多接口、插片有可能脱落。有一次大家察觉，在开机以后，坐标轴“Home”时犯错误警报，清查察觉原来是接口脱落生产制造成的。