蔡司扫描电镜ORION NanoFab离子束扫描电子显微镜拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。
  纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。
  通过图形化用户界面（GUI）完全控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。
  然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行完全的过程控制。